NP25/50-150S德國SPECK真空泵/水杯式真空泵

  SPECK真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。

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臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，
除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種德國SPECK真空泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。

      檢查確定達(dá)到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏。
考慮達(dá)到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。
s=2.303（v/t）lg(p1/p2)
其中
s為真空泵抽氣速率(l/s)
v為真空室容積(l)
t為達(dá)到要求真空度所需時間(s)
p1為初始容器內(nèi)氣壓
p2為抽氣后容器內(nèi)氣壓

speck水封式真空泵型號：v-1、v-6、v-30、v-55、v-95、v-430、vu-20、vu-450、vh-20、vh-1600、vp-110、vp-400

Speck真空泵

一、德國SPECK真空泵的影響因素：
它是決議產(chǎn)品的大小,抽氣量請求愈高,產(chǎn)品體積相對愈大,所需配用的電機(jī)功率亦會愈高。
它是決議產(chǎn)品采用何種構(gòu)造,真空度是有表壓及壓力這兩種讀數(shù)。壓力表示讀數(shù)是對值，即讀數(shù)愈靠近‘0'，真空度愈高。但反觀表壓，
愈接近760mmHɡ即表示真空度愈高，假若你所請求的壓力（極限真空）是靠近‘0'，那么只要真空泵才能夠滿足這個需求。

二、德國SPECK真空泵的特點(diǎn):
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速；
(2)轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，故振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，不用潤滑，摩擦損失小，可大大降低驅(qū)動功率，從而可實現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；
(4)泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥。結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；
(5)壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；
(6)轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

德國SPECK真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內(nèi)的氣體壓力，使之達(dá)到要求的真空度。概括地講從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統(tǒng)能覆蓋這個范圍。因此，
為達(dá)到不同產(chǎn)品的工藝指標(biāo)、工作效率和設(shè)備工作壽命要求、不同的真空區(qū)段需要選擇不同的真空系統(tǒng)配置。為達(dá)到配置，選擇真空系統(tǒng)時，應(yīng)考慮下述 

三、德國SPECK真空泵的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)：

（1)泵總體結(jié)構(gòu)型式
銷售原裝德國SPECK真空泵的泵體的布置結(jié)構(gòu)決定了泵的總體結(jié)構(gòu)。
立式結(jié)構(gòu)的進(jìn)、排氣口水平設(shè)置，裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高，在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性差，故這種型式多用于小泵。
臥式泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便，可將排氣口從水平方向接出，即進(jìn)、排氣方向是相互垂直的。此時，排氣口可以從左或右兩個方向開口，除接排氣管道一端外，另一端堵死或接旁通閥。這種德國SPECK真空泵結(jié)構(gòu)重心低，高速運(yùn)轉(zhuǎn)時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結(jié)構(gòu)。
銷售原裝德國SPECK真空泵的兩個轉(zhuǎn)子軸與水平面垂直安裝。這種結(jié)構(gòu)裝配間隙容易控制，轉(zhuǎn)子裝配方便，泵占地面積小。但泵重心較高且齒輪拆裝不便，潤滑機(jī)構(gòu)也相對復(fù)雜。
（2)泵的傳動方式
德國SPECK真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運(yùn)轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種：其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動，這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小，則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變，故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運(yùn)轉(zhuǎn)過程中均勻。這種傳動方式的大缺點(diǎn)是：a.主動軸上有三個軸承，增加了泵的加工和裝配難度，齒輪的拆裝及調(diào)整也不便；b.整體結(jié)構(gòu)不勻稱，泵的重心偏向電動機(jī)和齒輪箱一側(cè)。

      SPECK真空泵的好壞決定于其機(jī)械結(jié)構(gòu)和油的質(zhì)量，使用SPECK真空泵時必須把它保護(hù)好。如果蒸餾揮發(fā)性較大的有機(jī)溶劑時，有機(jī)溶劑會被油吸收結(jié)果增加了蒸氣壓，從而降低了抽空效能，如果是酸性氣體，那就會腐蝕油泵，如果是水蒸氣就會使油成乳濁液而抽壞SPECK真空泵。

    根據(jù)使用的范圍和抽氣效能可將SPECK真空泵分為三類：
(1)一般水泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為"粗"真空。
(2)油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為"次高"真空。
(3)擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為"高"真空。
若要較低的壓力，那就要用到油泵了，好的油泵能抽到133.3Pa(1mmHg)以下。
在有機(jī)化學(xué)實驗室里常用的減壓泵有水泵和SPECK真空泵兩種，若不要求很低的壓力時，可用水泵，如果水泵的構(gòu)造好且水壓又高，抽空效率可達(dá)1067~3333Pa(8~25mmHg)。水泵所能抽到的zui低壓力理論上相當(dāng)于當(dāng)時水溫下的水蒸氣壓力。例如，水溫25℃、20℃、10℃時，水蒸氣的壓力分別為3192、2394、1197Pa(8-25mmHg)。用水泵抽氣時，應(yīng)在水泵前裝上安全瓶，以防水壓下降，水流倒吸；停止抽氣前，應(yīng)先放氣，然后關(guān)水泵。
德國SPECK真空泵的維護(hù)與保yang
在SPECK真空泵中SPECK真空泵油不僅作為獲得真空的介質(zhì)，還對機(jī)械摩擦點(diǎn)起潤滑、冷卻和密封作用。
這是SPECK真空泵油的zui重要的性能，由于SPECK真空泵要求真空度很高，一般用石蠟基窄餾分潤滑油，對于擴(kuò)散SPECK真空泵，還可使用蒸氣壓很低的硅油或其他合成油。
SPECK真空泵腔內(nèi)容積不斷變化而形成排氣作用，要求潤滑油應(yīng)具有合適的粘度和粘溫特性。
SPECK真空泵不斷向高速度發(fā)展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，油品很容易氧化分解，尤其擴(kuò)散泵往往處于很高的溫度環(huán)境下工作，使系統(tǒng)內(nèi)蒸氣壓升高，真空度降低，因此要求SPECK真空泵油具有良好的熱氧化安定性。
SPECK真空泵吸入的如果是腐蝕性氣體，會與油發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，腐蝕泵內(nèi)零件；吸入空氣中往往含有水汽冷凝水，引起SPECK真空泵油的乳化并使金屬腐蝕，所以要求具有良好的抗腐蝕和抗乳化性。
主要要求SPECK真空泵中不攜帶輕質(zhì)組分，以免影響油品的飽和蒸氣壓。
極限壓力是SPECK真空泵油重要的使用性能指標(biāo)以了解在zui低真空極限壓力下SPECK真空泵的極限壓力。

SPECK真空泵傳動部位磨損是普遍存在的問題，其中包括軸承位、軸承座、軸承室、鍵槽及螺紋等部位，傳統(tǒng)方法以補(bǔ)焊和刷鍍噴涂為主，但兩者均存在一定弊端：補(bǔ)焊高溫產(chǎn)生的熱應(yīng)力無法完全消除，易造成材質(zhì)損傷，導(dǎo)致部件出現(xiàn)彎曲或斷裂；而電刷鍍受涂層厚度限制，容易剝落，且以上兩種方法都是用金屬修復(fù)金屬，無法改變“硬對硬”的配合關(guān)系，在各力綜合作用下，仍會造成再次磨損。當(dāng)代西方國家針對以上問題多使用高分子復(fù)合材料的修復(fù)方法，而應(yīng)用較多的有美國美嘉華技術(shù)體系，其具有超強(qiáng)的粘著力，優(yōu)異的抗壓強(qiáng)度等綜合性能。應(yīng)用高分子材料修復(fù)，可免拆卸，免機(jī)加工。既無補(bǔ)焊熱應(yīng)力影響，修復(fù)厚度也不受限制，同時產(chǎn)品所具有的金屬材料不具備的退讓性，可吸收設(shè)備的沖擊震動，避免再次磨損的可能，并大大延長設(shè)備部件的使用壽命，為企業(yè)節(jié)省大量的停機(jī)時間，創(chuàng)造巨大的經(jīng)濟(jì)價值。
德國SPECK（司倍克）泵業(yè)成立于1909年，是世界上著名的泵類產(chǎn)品制造企業(yè)。近百年來，SPECK系列泵產(chǎn)品以其優(yōu)秀的品質(zhì)，良好的聲譽(yù)在同行業(yè)中享有很高聲望。其應(yīng)用領(lǐng)域涵蓋醫(yī)療設(shè)備、化學(xué)工業(yè)、水處理工業(yè)、模溫控制設(shè)備、航天工業(yè)、家電產(chǎn)品、工業(yè)控制設(shè)備等多方面。在產(chǎn)品開發(fā)上面，SPECK一直繼承德國企業(yè)嚴(yán)謹(jǐn)務(wù)實的作，重視并積極研發(fā)新的系列產(chǎn)品，改進(jìn)產(chǎn)品的加工工藝，不斷提升SPECK產(chǎn)品的品質(zhì)。SPECK水封式真空泵德國原廠采購；到目前為止，SPECK已推出了包括離心泵、磁力驅(qū)動泵、化工輸送泵、熱煤油泵、柱塞泵、潛水泵以及真空泵在內(nèi)的系列產(chǎn)品，并且全部通過了ISO9001質(zhì)量體系的認(rèn)證。
在模溫控制設(shè)備領(lǐng)域，SPECK產(chǎn)品在世界上占jue對的主導(dǎo)地位，目前世界上60%以上的模溫機(jī)制造商均采用德國SPECK泵的產(chǎn)品配套。
隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來越寬，大多需要由幾種德國SPECK真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過程的要求，由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類型的德國SPECK真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過程的需要，有時將各種真空泵按其性能要求組合起來，以機(jī)組型式應(yīng)用。

speck常見問題分析如下：

（1）電機(jī)溫度高
  如300MW機(jī)組，每臺機(jī)組配備2臺機(jī)械SPECK真空泵，其中1臺運(yùn)行，1臺備用。SPECK真空泵用于機(jī)組啟動時抽真空，正常運(yùn)行時用于抽出凝汽器中未凝結(jié)的氣體。該泵配備電機(jī)160kW，轉(zhuǎn)速590r/min，額定電流330A，電壓380V，B級jue緣，正常運(yùn)行時電流220～230A。每年夏季，電機(jī)溫度都會超限，被迫加裝臨時冷卻風(fēng)機(jī)，但收效不大。電機(jī)長期高溫運(yùn)行會造成jue緣老化，縮短其使用壽命。對SPECK真空泵電機(jī)溫度高的原因分析如下。

（2）原因分析
(1)電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大。
(2)風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓，風(fēng)量小。
(3)風(fēng)扇葉片數(shù)較少，產(chǎn)生的風(fēng)量小。
(4)電動機(jī)附有灰塵、油污，降低了散熱能力。
(5)SPECK真空泵電機(jī)所在母線電壓為380V，由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均，電機(jī)實際所加電壓只有365V，電壓偏低造成運(yùn)行電流大。
（3）對策
電機(jī)功率、轉(zhuǎn)速是和SPECK真空泵相匹配的，不能更改。風(fēng)扇安裝于電機(jī)主軸上，電機(jī)轉(zhuǎn)速決定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速，也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用，但葉片數(shù)量增加后，動平衡不容易找，如找正不好，會引起電機(jī)振動增加。
(1)將原風(fēng)扇罩加長40cm，在里面加裝一個與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機(jī)，軸流風(fēng)機(jī)電機(jī)功率850W，轉(zhuǎn)速1489r/min，電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機(jī)另設(shè)一路電源控制，軸流風(fēng)機(jī)與主電機(jī)不設(shè)連鎖。SPECK真空泵啟動后及時啟動軸流風(fēng)機(jī)運(yùn)行，SPECK真空泵停運(yùn)后30min停運(yùn)軸流風(fēng)機(jī)，以使主電機(jī)得到充分冷卻;
(2)定期清除電機(jī)上灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力;
(3)將SPECK真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。

產(chǎn)品效果
(1)由于軸流風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速高，風(fēng)壓風(fēng)量大，冷卻效果大大增強(qiáng)，在相同的環(huán)境溫度、負(fù)荷電流下，主電機(jī)溫度下降了12℃。夏季主電機(jī)溫度未再超限。
(2)軸流風(fēng)機(jī)可人為控制，主電機(jī)停運(yùn)后，軸流風(fēng)機(jī)仍可運(yùn)行，可以使主電機(jī)得到充分冷卻。
(3)盡量使2段母線負(fù)荷分配平衡，以防某段母線因負(fù)荷過重造成電壓下降過多。
(4)電壓調(diào)整后，SPECK真空泵運(yùn)行電流降為210A，發(fā)熱量相對減小。
(5)減緩了主電機(jī)的jue緣老化速度，延長了其使用壽命。
泵軸軸承位磨損

speck泵部分型號展示：

speck離心泵：mz-35、mz-40、pft

speck摩擦泵：sk、ask mit npsh-vorstufe

speck磁力柱塞泵：sap-1/2/4

speck小型離心泵：y-2841/ys-2841、lny-2041/2841/lsy-2841、lsy-2841.mk、py-2071、py-2071.mk、npy-2051-normal priming、npy-2051-self priming、npy-2051-inline、npy-2251.mk、me-101、cy-4081/csy-4081、cy-4281.mk、cy-5091、gme/sme-303、21-40.mk

speck小型離心泵：ly-2081、ly-8000.mk、ly-9000.mk、my-1、my2-6000/8000.mk

speck小型轉(zhuǎn)子葉輪泵：ds-60、ds-960、ds-120.mk、ds-450.mk

speck潛水泵：tp-401、tp-602、t-401、t-602、t-701、tp-280/550

speck沉水泵：tme-101、s-3306

speck熱煤油泵：toe/npy-2251.mk、toe/cy-4281.mk、toe/cy-6091.mk、toe 32-160.mk

        德國Speck1909年成立至今已擁有100多年的悠久歷史，并自此從不間斷地以高新技術(shù)更新升級其產(chǎn)品系列。通過對新材質(zhì)的使用和新系列泵的研發(fā)Speck不斷提供給市場更高性能和更高技術(shù)要求的產(chǎn)品以滿足日益提升的市場需求。特別是在某些特殊使用領(lǐng)域，Speck泵更是耐久可靠的象征?，F(xiàn)今Speck已成為世界范圍內(nèi)著名高壓柱塞泵的制造商和配套供貨商，其產(chǎn)品卓越的高壓性能、高耐久耐用性、高穩(wěn)定性和低噪音及相對較小的安裝體積等特性已盛名于世。Speck斯貝克柱塞泵被廣泛用于高壓清洗、除漆除銹、工業(yè)除磷、鑄件清砂、打壓檢測、噴霧加濕、景觀造霧、海水淡化、工業(yè)水處理、油田注水、高壓冷卻、市政環(huán)衛(wèi)、管道疏通、各類熱交換器除垢、采礦業(yè)、液體輸送、鍋爐給水、航天等領(lǐng)域。同時，Speck的產(chǎn)品在石油、礦山、建筑、水泥、化工、醫(yī)藥、水利、電力、冶金、食品等各行各業(yè)發(fā)揮著特有的功效。特別是在某些特殊使用領(lǐng)域，Speck斯貝克泵更是耐久可靠的象征。

   SPECK全類型號展示：

　　SPECK PUMPEN 泵 pump:Y-2841.OO11

　　SPECK PUMPEN 泵 泵 Type:P11/13-100 Nr:225930Q:12.7L/MIN,N:1420l/min,3.9KW

　　SPECK PUMPEN 葉輪 密封水增壓泵 QY1042 葉輪

　　SPECK PUMPEN 泵 Y-4081.0009

　　SPECK 電機(jī) NO:W329458 1.5KW 電機(jī)DCSEEK 90-S2

　　SPECK 備件 IN-VF2-250

　　SPECK 電機(jī) G1120A32P0LG000A

　　SPECK 閥 NT25/50-150

　　SPECK ? CY-4281(2HP) AC220 3Phase

　　SPECK 磁? CY-4281(3HP) AC220 3Phase

　　SPECK 柱塞泵 NP25/70-100 100bar -20-50°70升/分

　　SPECK 泵 TOE/CY-6091.0039 NR:T18465550HZ 2.8KW

　　SPECK 高壓水泵 NP10/15-140

　　SPECK 磁力泵 CY-4282.0067

　　SPECK 泵 MPY-2051.0579

　　SPECK 泵 溫度:180°-200° 壓力：15公斤(

　　SPECK 電機(jī) Y/6091.0017

　　SPECK 泵 NPY-4081.0026

　　SPECK 泵 NPY-2051.0892

　　SPECK 柱塞泵 NP11/7-220MN

　　SPECK 泵 Y-4081.0010 0.75KW

　　SPECK 泵 HT/CY-60910068

　　SPECK 高壓泵 NP71/200-130S用于海水淡化

　　SPECK 泵 NP11/5-220LMN

　　SPECK 泵 P31/25-220

　　SPECK 泵 P10/13-100K12.6M/M 1420 2.6KW8192

　　SPECK 泵 P22/28-130

　　SPECK 柱塞泵 P51/135-90MS

　　SPECK 自動卸荷閥 ULB200-150

　　SPECK 安全閥 ULS200-180

　　SPECK 泵 NPE25/21-300(00.6155)

　　SPECK 泵 NR:089560 PN:000040049DATUM:11.02.05 DS-360.0027

　　SPECK 油泵 Y-50810001

　　SPECK 水泵 PY-2071-0530

　　SPECK 水泵 PY-2070-0527

　　SPECK 水泵 NR:092283 000065595 DATUM17.03.05 DS-360.0027

　　SPECK 泵 CY-4081.0424

　　SPECK 泵 NPY-2021.0936

　　SPECK 水泵 BJ2015HT/CY 4281.0001

　　SPECK 泵 TOE/NPY-2251-9521

　　SPECK 泵 MK/NPY-2251-9521

　　SPECK 無軸封熱煤油泵 TOE/CY-6091.MK

　　SPECK 泵頭 HT/CY-4281.0006

　　SPECK 泵 P55/160-100G

　　SPECK 泵 P11/15-150D 9.3/F.8L/MIN 1.2/1.1KW 900/750 L/MIN 60BAR

　　SPECK 泵 NP25/41-170 介質(zhì):清水

　　SPECK 泵頭 D-82538 SAE90 0.55KWP11/13-100

　　SPECK 燃油泵 DS-240.MK/230V/50HZ

　　SPECK 燃油泵 DS-640.MK/230V/51HZ

　　SPECK 加壓泵 IN-V2-130SIC/CA/EPOMPN166402010773

　　SPECK 單向閥組 00.5441

　　SPECK 軸封 06.0287

　　SPECK 密封圈 06.1174

　　SPECK 阻擋盤 7.3723

　　SPECK 瓷套 11.0575

　　SPECK 曲柄 00.2458

　　SPECK 泵 P71/250-100S 鋁青銅材質(zhì)

　　SPECK 泵 TOE/32-160.0001

　　SPECK 泵 NPY2051 定貨號：3502009910016

　　SPECK 泵 NPY 2051.0682

　　SPECK 高壓柱塞泵 NP/1-220MV+泵配件包

　　SPECK 電機(jī) DS 720.0001電機(jī)

　　SPECK 高壓泵 P55/128-160G

　　SPECK 柱塞泵 NP16/21-140

　　SPECK 泵 P11/13-100 NR.225260

　　SPECK 噴補(bǔ)車給水泵電機(jī) DS-720.0033 0.75KW

　　SPECKENDRUMAG 閥 3V4-EF-V+258SD(24V)+102PG9

　　部分型號列舉：

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-20

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-30

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-40

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-50

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-60

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-70

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-80

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-90

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-100

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-110

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-120

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-140

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-160

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-180

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-200

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-220 F

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-240 F

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-260 F

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-280 F

　　SPECK Pumpen IN-VB 2-300 F

　　SPECK Pumpen IN-VB 4-20

　　SPECK Pumpen IN-VB 4-30

　　SPECK Pumpen IN-VB 4-40

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NP25/50-150S德國SPECK真空泵/水杯式真空泵