德國(guó)XITON激光器IXITON-193-SLM技術(shù)指導(dǎo)

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產(chǎn)品介紹：

IXION 193 SLM 是一種單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學(xué)計(jì)量、193 nm 步進(jìn)光學(xué)器件校準(zhǔn)或高功率 ArF 準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制等應(yīng)用。 光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。

 該系統(tǒng)的中心波長(zhǎng)可在185-194 nm范圍內(nèi)定制，并可在訂購(gòu)時(shí)配置為固定波長(zhǎng)。

193納米計(jì)量

光譜儀校準(zhǔn)

干涉測(cè)量法

準(zhǔn)分子激光器的注射接種

波長(zhǎng): 185-194 nm

平均功率: 10 毫瓦

脈沖持續(xù)時(shí)間典型: 8-12 ns

每脈沖能量: 1.6 µJ

重復(fù)頻率: 1-15 kHz

光束質(zhì)量: M² < 1.6

頻譜帶寬: < 80 MHz

光譜可調(diào): > 10 pm

相干長(zhǎng)度: > 2 m

脈沖到脈沖刺: σ < 2.5 %